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1.項目背景：

半導(dǎo)體是電子產(chǎn)品的核心元件,是整個信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展基石。隨著半導(dǎo)體器件變得越來越小,半導(dǎo)體工藝從28nm走向7nm、5nm及更先進等級后,先進的制程對雜質(zhì)的敏感度更高,小尺寸污染物的高效清洗將更困難，對超純水的電導(dǎo)性、離子含量、TOC等要求越來越嚴，這意味著超純水的制備工藝將更重要、更富挑戰(zhàn)性。

2.項目信息

項目地點：廣東省珠海市     應(yīng)用場景：企業(yè)中水回用系統(tǒng)

進水水質(zhì)：生產(chǎn)廢水         產(chǎn)水用途：工藝用水